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潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
關于日常的,每天生產結束后,用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機臺、桌面、門窗、墻壁等.每3天生產結束后,用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對潔凈室內設施表面及頂棚、照明等表面進行擦拭, 3%~5%的來蘇兒對地面進行,目的是殺死因生產過程中產生的細菌繁殖體,控制潔凈室內微生物含量.這些措施僅能控制潔凈室內空氣中的細菌量及雜菌種類,如果霉菌較多,就要先用5%石碳酸quan面噴灑室內,然后用甲醛熏蒸才能達到無菌效果,而且只有這樣才能殺死細菌、雜菌芽孢.每個生產周期結束,下個周期生產前對有無菌要求的潔凈室行液,檢測潔凈室內塵埃粒子數符合規定后,再對潔凈室內進行甲醛氣體熏蒸,從長期檢測的結果來看,這種環境滅菌方法效果很好.
根據測試和分析結果，運營商約占無塵車間污染源的80%。運營商進出無塵車間時無塵車間的污染源可分為外部污染源和內部污染源。外部污染源主要包括空調送風、縫隙滲透、建筑物、工作服、氮氣、氧氣、空氣、供水、溶劑等一般氣體；內部污染源包括生產設備、人員、工具、加工制造、車廂材料、工作臺、包裝材料等。無塵布生產商在使用無塵車間時，不僅要使用無塵布、無塵衣等無塵材料，還要加強對進出人員的管理，發揮無塵車間應有的作用。進出無塵車間物料的管理:
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。