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每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。空態:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室（設施）。它具備有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的設備。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上， 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃，45±5%RH，當然根據生產工藝的需求，對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示，其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
潔凈車間(潔凈室)是一個企業的核心，是空氣達到一定級別的可供人活動或生產工作的空間，其功能室控制微粒子和微生物的污染。潔凈室的潔凈不是一般的干凈，而是達到了一定空氣潔凈度級別。潔凈車間(潔凈室)按照用途分類分為工業潔凈室和生物潔凈室，按氣流形式分類分為單項流潔凈室、非單項流潔凈室、混合流潔凈室、輻（矢）流潔凈室等。
亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是:突變流；非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式，則即使流速低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不流層之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。