寧夏玻璃10萬級凈化車間專業生產廠家
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
檢查標準:白手套觸摸無污漬。凈化車間內實行班組長管理制作,每天在凈化區內人員下班后,班組長檢查每個凈化房間內的水電是否關閉,設備是否處于斷電狀態,衛生是否打掃,容器與器皿、物料是否放置在規定區域內, 發現不符合的現象,馬上記錄,并進行糾正,然后關閉的開關總閘和門,離開凈化車間。 以上每違反一條,一次從清潔責任人工資中扣5元,違反人員的直屬上司扣管理費用2元。凈化車間工作人員不得留長指甲,依手指為準,每周對長指甲進行例行檢查,留長指甲的不得進入。
出口濕度的設定值。根據送風露點溫度并與露點溫度設定值進行比較,通過PID控制算法,得出一個計算值,根據該計算值來確定表冷閥和加濕閥開度的大小,其控制流程與溫度控制類似,同時也引入了分程控制,避免臨界狀態下加濕與之間不斷切換而導致的濕度控制的波動。潔凈室溫度控制潔凈室內的溫度PID 控制流程如圖6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于潔凈室本身的大空間而造成的大慣性、大時滯性,在設置PID