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層流罩一種可提供部高清潔環境的空氣凈化設備。它主要有箱體,風機,初效空氣過濾器,空氣過濾器。阻尼層,燈具等組成,箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產品即可以懸掛,又可地面支撐,結構緊湊,使用方便。可以單個使用,也可多個聯接組成帶狀潔凈區域。潔凈區內的配電箱(柜)根據要求不同,可采用明裝或暗裝方式安裝。其暗裝結構形式類似于通風柱井或結構包柱。配電箱的進出線選用低壓電纜,電纜的選擇應符合技術要求。例如30kVA、50kVA變壓器的配電箱的進線使用VV22-35×4電纜,分路出線使用同規格的VLV22-35×4電纜;80kVA、100kVA變壓器的配電箱的進線分別使用VV22-50×4、VV22-70×4電纜,分路出線分別使用VLV22-50×4、VLV22-70×4電纜,其電纜與銅鋁接線鼻壓接后再用螺栓與配電箱內接線樁頭連接。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。無塵室、無塵車間若使用吸塵器,對過濾能力,吸塵能力都是有高要求的。加大的HEPA過濾器是基本配置,對顆粒物灰塵物質的過濾芯要求達到99.97%之03.um,吸塵管與接頭這些與設備密切接觸的部件都是防靜電式材質 。
期超過兩天以上的要定時清理,對可以不存放在凈化車間的物品和無用物品要及時清理。物品要存放有序,原材料放在原材料緩沖間中,清潔用具放在清潔間中,生產使用的容器與器皿,在未使用時應存放在清洗間中,同時應分類并加以標識??刂破胀堅趦艋囬g內使用,禁止在凈化車間內使用非凈化用品,如使用時,應放在回風口附近。在凈化車間工作時,若產品須暫存放,應放在貨架上的指定區域,對禁止存放在地面上。沒有潔凈室,就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中,潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間,具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度,以達到適當的顆粒清潔度。