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無塵車間內的潔凈工作臺可根據產品要求或其他用途的要求,在操作臺上保持高潔凈度的部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的部空間形成無菌、無塵的部凈化,其主要組成部件有預過濾器、過濾器、風機機組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無塵車間的潔凈工作臺的構造要求:臺面,采用木質塑料貼面貼于層壓板上做成臺面,或采用不銹鋼做臺面;箱體,用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形,可采用冷軋薄板折邊搭接,大電流電焊,內表面需粘貼消聲材料,大尺寸應以通過一般房門為宜;箱體密封,縫隙均采用密封膠密封;操作區截面應盡可能與空氣過濾器送風截面相同,盡量減少盲區;風機、電機,選用高壓低噪的小型風機,風機與箱體的連接采用軟連接,電機及風機均應采取減振措施;燈罩,日光燈要盡量設置在燈罩內,燈罩內要通過潔凈氣流;預過濾器,須設置預過濾器,容量要大,在使用風量下,初阻力宜小于50Pa;過濾器,盡量采用大面積的過濾器,減少空氣過濾器的數量,過濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環密封系統。
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外,并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
因此,在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時,考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方,通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故,所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%,這樣即可以減少靜電的產生,通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚,電子廠無塵車間無要求的情況下,溫度控制在22℃左右,相對濕度控制在55~60%RH之間,在這種環境下,人們感覺舒適,靜電也消失了。
凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。