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依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
因此，在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。
無塵車間和凈化車間均可應應用到微電子、光電子、電子加工、精密機械、食品等行業看到這里相比大家都有很大的疑問?凈化車間和無塵車間的區別到底在哪里?其實無塵車間和凈化車間并沒有本質上的區別，只是叫法上的不同而已，本篇文章中列舉的三個方面已經實了。所以無塵車間就是凈化車間。無塵潔凈系統對十萬級潔凈車間的作用十萬級潔凈車間的結構設計，為了使氣流能夠順暢流通不受干擾,要進行必要的結構設計，避免有地方可以積累灰塵；
亂流潔凈室也叫非單向流潔凈室，非單向流潔凈室的原理是靠潔凈送風氣流擴散、混合、不斷稀釋室內空氣，把室內污染逐漸排出，達到平衡。簡言之，非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。 特點:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。