惠州電子凈化工程設計專業規劃設計
1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的jing確要求為亞微米.10級:這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業.100級:很多人認為,這yi級無塵車間是zui常用因而是zui重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級無塵車間稱為無菌室,以說明"無菌"的或"無塵"的環境要求,100級無塵室可用于醫工業的無菌制造工藝等,這一無塵車間大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療.
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
潔凈室(區)內各種管道,在設計和安裝時應考慮使用中避免出現不易清洗的部位。管道內壁應光滑,管道設計要減少支管、管件、閥門和盲管。為便于清洗、滅菌,需要清洗、滅菌的零部件要易于拆裝,不便拆裝的要設清洗口。無菌室設備、管道要適應滅菌需要,輸送無菌介質的管道應采取滅菌措施或采用衛生薄壁可拆卸式管道。管道與閥門連接宜采用法蘭、螺紋或其他密封性能優良的連接件,采用法蘭連接時宜使用不易積液的對接法蘭、活套法蘭。凡接觸物料的法蘭和螺紋的密封應采用聚四氟乙烯,液體的輸送管路的安裝盡量減少連接處,密封墊宜采用硅橡膠等材料。
出口濕度的設定值。根據送風露點溫度并與露點溫度設定值進行比較,通過PID控制算法,得出一個計算值,根據該計算值來確定表冷閥和加濕閥開度的大小,其控制流程與溫度控制類似,同時也引入了分程控制,避免臨界狀態下加濕與之間不斷切換而導致的濕度控制的波動。潔凈室溫度控制潔凈室內的溫度PID 控制流程如圖6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于潔凈室本身的大空間而造成的大慣性、大時滯性,在設置PID