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無塵車間之定義無塵車間(Clean?Room),亦稱為無塵室或潔凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
在更室內,按照進入進的方法,反向操作,穿上室內鞋走出更室。穿好無塵服后才能進入手間,嚴禁手不進入凈化車間。出入凈化車間時,開關門時應輕推輕關,且門不能對開。以上每違反一條,每次從工資中扣10元,違反人員的直屬上司扣管理費用2元。無塵服的存放與管理無塵服按要求定期清洗,每班清洗1次(使用時)。無塵服臟、破、清洗不干凈時均要申請更換,更換時均要以舊換新。存放無塵服的區域保持干凈,除無塵服外不能存放物品。
10級這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于 2微米的半導體工業。1級這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的要求為亞微米。潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。其功能是控制微粒(塵埃粒子)的污染。來達到滿足精密產品的生產與科學實驗活動。合景凈化工程公司認為,潔凈室不是于"潔凈",不同的行業與部門對溫度、溫度、照明、噪聲、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合整體,是集建筑裝飾(與大氣相對隔斷的密閉裝修)、凈化空調、純水、純氣、動力電、照明電、工藝管道等多種技術于一體的產物,潔凈室(或潔凈廠房)