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開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外,并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
醫療器械GMP車間:對非無菌植入性醫療器械或運用前預期滅菌的醫療器械,假如經過確認的產品清洗、包裝進程,能將污染下降并堅持一致的操控水平,醫療器械GMP車間施工,應樹立一個受控的環境來包括該確認的清洗和包裝進程.打印包裝凈化車間:食物包裝和品包裝對空間環境的溫濕度、空氣中的微塵粒子數量、水質質量方面請求都很高,直接影響到商品質量和合格率.( ? ?CleanRoom),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。凈室被廣泛地應用在對環境污染敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制、醫院 ? ?等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、 潔凈度要求尤其嚴格、故其控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,凈室可以占據廠房很多位置。
凈化工程通俗稱為無塵車間、凈化車間、潔凈室等名稱;其主要原理是將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動、照明、靜電控制在所需求范圍內。主要是對潔凈度、溫度、濕度的控制,提升作業環境,提高產品良率。無塵凈化車間包含6個部分,分別是:1.天花板系統,包含主梁和無塵室頂部部門;2.空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等;3.隔墻板:包括窗戶、門;4.地面:比如防靜電地面、以及環氧自流平及滾涂地面;5.照明器具:包括日光燈等;6.無塵室之建筑主體構造:一般可以用鋼筋或骨水泥,近年來人們發現了的主體構造,那就是工業鋁型材。