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天花板系統:包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等。隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。照明器具:包括日光燈、黃燈管等。潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，滿足如下之條件:
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外，并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在個以下，就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。無塵室、無塵車間若使用吸塵器，對過濾能力，吸塵能力都是有高要求的。加大的HEPA過濾器是基本配置，對顆粒物灰塵物質的過濾芯要求達到99.97%之03.um，吸塵管與接頭這些與設備密切接觸的部件都是防靜電式材質 。
1000級:這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等.10000級:萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用.100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、工業也常常使用這yi級無塵車間.