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無塵布潔凈車間廠家認為壓差測試應在門關閉的情況下從高壓向低壓開始,從平面布置上離室外zui遠的內室開始,然后依次向外測試;相鄰潔凈室(區)有不同等級的相互連通的孔洞,孔洞應有合理的氣流方向等等。無塵布潔凈車間廠家認為壓差檢測要求:靜壓差的測量要求潔凈區的門都關閉。在潔凈平面上,應按照潔凈度由高到低的順序進行,直至檢測到通向室外的房間。測量噴嘴可以位于室內不受氣流影響的位置,測量噴嘴表面與氣流流線平行。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃,濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究,引入模糊控制,以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程,是含濕量保持不變的過程,即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱,溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程,溫度下降而相對濕度相應升高,因此我們可以得出,溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量,要使溫濕度同時向相同的趨勢變化,
潔凈車間(潔凈室)是一個企業的核心,是空氣達到一定級別的可供人活動或生產工作的空間,其功能室控制微粒子和微生物的污染。潔凈室的潔凈不是一般的干凈,而是達到了一定空氣潔凈度級別。潔凈車間(潔凈室)按照用途分類分為工業潔凈室和生物潔凈室,按氣流形式分類分為單項流潔凈室、非單項流潔凈室、混合流潔凈室、輻(矢)流潔凈室等。
出口濕度的設定值。根據送風露點溫度并與露點溫度設定值進行比較,通過PID控制算法,得出一個計算值,根據該計算值來確定表冷閥和加濕閥開度的大小,其控制流程與溫度控制類似,同時也引入了分程控制,避免臨界狀態下加濕與之間不斷切換而導致的濕度控制的波動。潔凈室溫度控制潔凈室內的溫度PID 控制流程如圖6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于潔凈室本身的大空間而造成的大慣性、大時滯性,在設置PID