陜西化工10萬級凈化車間專業規劃設計
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上， 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃，45±5%RH，當然根據生產工藝的需求，對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示，其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外，并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
無菌車間又稱無菌室。它的要求更高。除了按照潔凈室的要求對空氣中的微粒進行處理外，還需要對室內空氣進行，即在去除生物污染源的同時，還要對室進行檢查。對室內空氣進行采樣培養，消除傳染源。醫院手術室、血液透析室、品、三類一次性醫療用品的生產需要使用無菌室;但是，浮游細菌和沉降細菌等菌落的數量需要在測試期間進行檢測。潔凈室凈化工程裝修標準及解決方案無菌的定義要求沒有活的微生物。為了實現無菌車間無活微生物，在無菌車間的產品生產過程中，需要采用各種方法去除產品中原有的微生物，產品被微生物污染。
十萬級潔凈車間防靜電環氧樹脂地板工程。十萬級潔凈車間結構裝修要點十萬級潔凈車間、更衣室內圍護隔斷和天花采用50mm厚的聚苯乙烯加芯彩鋼板，吊頂高度為2.5米。十萬級潔凈車間內采用鋁合金彩鋼板單門、雙門。人員進入潔凈區經過換鞋間、更衣室、緩沖間進入。十萬級潔凈車間的地面采用防靜電環氧樹脂地板。無塵車間清潔要求如下:清潔潔凈室墻壁時，應使用潔凈室無塵布；用90%去離子水和10%異丙醇配制洗滌劑；