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潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU
因此，在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。
閥門選用也應考慮不積液的原則，宜使用清洗滅菌方便的旋塞、球閥、隔膜閥、衛生蝶閥、衛生截止閥等。潔凈室管道應視其溫度及環境條件確定熱條件。冷保溫管道的保溫層外壁溫度不得低于環境的露點溫度；管道保溫層表面須平整、光潔，不散發顆粒，熱性能好，材料要易施工，并宜用金屬外殼保護。潔凈室(區)內的配電設備的管線應暗敷，進入室內的管線口應嚴格密封，電源插座宜采用嵌入式。潔凈室及其技術夾層，技術夾道內應設置滅火設施和消防給水系統。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。