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初,確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔凈室,但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著認識的發展,人們又指出這種單向流只是“在有限的領域內空氣沿平行流線以勻速流動的意思”,并認為能力抑制渦流的發生。全空間的清潔空氣的單向流特性占支配房間,也稱為單向流潔凈室。這就是說不要求在整個房間都具有單向平行的流線,均勻的速度,沒有渦流,而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配。在整個工作區這一層空間了單向流,這個房間就是單向流潔凈室。
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
凈化車間壓差值的選擇應適當,選擇過小,凈化車間壓差易被破壞,潔凈度受到干擾;選擇過大,HVAC系統新風量增大,負荷增加,過濾器壽命縮短。因此,凈化車間壓差值大小應合理確定(對一般凈化車間為正壓,生物學凈化車間為負壓)。凈化車間壓差是由送入新風量的大小來保持的,即:壓差建立的基本原理是送風量大于回風量、排風量、漏風量之和,其中漏風量大小取決于建筑物圍護結構的密封程度,如門縫、窗縫、壁板拼縫、各種管線接口等,這些將影響到漏風量的大小,使室內壓差很難維持或不穩定。無論是風空氣系統,還是循環空氣系統,通過凈化車間的送入風量與排風量和壓差風量(余風量)之間達到平衡便建立了壓差。