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潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
無塵服嚴禁有亂穿、亂放等現象。具體參照QG-19《潔凈服和無菌工作服管理制度》進行。以上每違反一條,每次從工資中扣10元,違反人員的直屬上司扣管理費用2元。無塵服、口罩須完整無破洞,手袖、褲管鎖口處不能有松脫現象。無塵服穿戴整齊,帶好口罩,頭發不能外露??谡终谧∽臁⒈?,以防唾液污染潔凈空間。不能佩帶首飾等與生產無關物進入車間, MP3、MP4、收音機等電子產品不允許帶
1000級這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。100級很多人認為,這一級無塵車間是常用因而是重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求。100級無塵室可用于醫工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植入體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌敏感的病人的隔離治比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。