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潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級，現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了，分為ABCD級別，分別相對應于98版的幾個級別，通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別，各個級別有不同的要求，凈化等級分靜態、動態兩種。世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
潔凈車間空氣凈化系統的風流向,分別是水平層流,垂直層流和無序層流.選擇應該根據實際的車間來進行選擇；十萬級潔凈車間設計方案的確立,應該以對車間的工作性質等方面進行考慮，如果發塵量大車間，則不宜采用地面形式的送風方式，如果潔凈度要求過高,則要遠離其他的車間。十萬級潔凈車間工程設方案十萬級潔凈車間彩鋼板結構和天花裝修工程；十萬級潔凈車間凈化通風空調工程；十萬級潔凈車間照明電氣工程；
所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造的要素。