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無塵車間，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵車間擁有不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
無塵凈化車間內的作業人員要嚴格按照無塵室的操作規則進行工作。門窗應處于關閉狀態，車間之間人員和物品的傳遞應有緩沖區，并設置吹林設備來阻止氣流的對流，與生產無關的人員不行進入無塵車間。凈化車間，也叫潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。凈化車間被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其 *** 定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。
機械性過濾—HEPA網HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思為空氣過濾器，達到HEPA標準的過濾網，對于0.3微米的達到99.998%，HEPA網的特點是空氣可以通過，但細小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網由一疊連續前后折疊的亞玻璃纖維膜構成，形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質。靜電式凈化方式工作原理:采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰線在高壓靜電的作用下，產生電暈放電，電暈層中產生大量的負離子，負離子在靜電場的作用下，不斷地向陽運動。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽(集塵)運動，到達陽后釋放電荷。 缺點:可去除飄塵(不能去除毒害氣體)，效能比機械式低、慢，而且易產生臭氧，此機型被美國市場評為差凈化器。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，