云浮血站凈化工程設計專業車間施工團隊
初,確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔凈室,但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著認識的發展,人們又指出這種單向流只是“在有限的領域內空氣沿平行流線以勻速流動的意思”,并認為能力抑制渦流的發生。全空間的清潔空氣的單向流特性占支配房間,也稱為單向流潔凈室。這就是說不要求在整個房間都具有單向平行的流線,均勻的速度,沒有渦流,而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配。在整個工作區這一層空間了單向流,這個房間就是單向流潔凈室。
后進入潔凈室生產區域,從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器,這些機器都保持持續的運轉,會產生大量的熱量,這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走, 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制,主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網,把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外,還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度,以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度,進而調節回風和送風混合后的溫濕度,以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
潔凈車間(潔凈室)是一個企業的核心,是空氣達到一定級別的可供人活動或生產工作的空間,其功能室控制微粒子和微生物的污染。潔凈室的潔凈不是一般的干凈,而是達到了一定空氣潔凈度級別。潔凈車間(潔凈室)按照用途分類分為工業潔凈室和生物潔凈室,按氣流形式分類分為單項流潔凈室、非單項流潔凈室、混合流潔凈室、輻(矢)流潔凈室等。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。工業潔凈車間管道布置的一般原則管路的布置類型一般有如下幾種:埋地敷設管路;管溝敷設管路;沿地敷設管路;架空敷設管路。在管道布置設計時,首先要統一協調工藝和非工藝管的布置,然后按工藝流程并結合設備布置、土建情況等布置管道。