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目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外，并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
如今，為了產品的質量，很多行業都要求按照凈化車間來從事生產活動，是食品、電子、精密機械、品和醫療器械等行業，凈化車間是必備的，所以可以認為，世界高科技的發展與凈化車間，潔凈技術的發展是密不可分的。凈化車間產品不受微粒和微生物的污染懸浮在空氣中的微生大都依附在塵埃粒子表面，諾不去除空氣中的微生物粒子和微粒，產品的質量就難。是對空氣潔凈度要求高的某些產品，如電子、品等。如果不除去空氣中的微生物粒子和微粒，產品就會被污染，食品、品會變質，電子產品質量下降。
無塵布潔凈車間廠家認為單向流動主要依靠潔凈氣流推動和置換室內和區內的污染空氣，維持室內和區內的清潔。因此，其送風段的風速和均勻度是影響潔凈度的重要參數。更高、更均勻的截面風速可以更快、更有效地處理室內過程中產生的污染物，因此是關注的主要檢測項目。非單向流動主要是依靠送進來的潔凈空氣來稀釋和沖淡室內和區域的污染物，以維持其潔凈度。所以換氣次數越多，氣流組織越合理，稀釋效果越明顯，潔凈度越高。因此，非單相流潔凈室和潔凈區的送風量和相應的換氣次數是主要的氣流測試項目。