成都玻璃10萬級凈化車間20年裝修經驗公司
增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….以此類推，配合公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。美國聯邦標準FS?209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class?1，Class?2，Class?3……Class8表示，度的等級為Class?1，差則為Class?8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。
在單向流潔凈室內，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外，達到凈化室內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒只能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。