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那么,在無菌車間中,實現空間的無菌要求是室內環境控制的關鍵。通常有兩種方法來控制微生物的生長,殺死或去除微生物,一種是化學的,另一種是物理的。其中,化學方法包括化學劑、汽化過氧化氫、臭氧和環氧乙烷;物理方法包括濕熱滅菌或干熱滅菌、輻射滅菌和過濾滅菌。
凈化工程通俗稱為無塵車間、凈化車間、潔凈室等名稱;其主要原理是將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動、照明、靜電控制在所需求范圍內。主要是對潔凈度、溫度、濕度的控制,提升作業環境,提高產品良率。無塵凈化車間包含6個部分,分別是:1.天花板系統,包含主梁和無塵室頂部部門;2.空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等;3.隔墻板:包括窗戶、門;4.地面:比如防靜電地面、以及環氧自流平及滾涂地面;5.照明器具:包括日光燈等;6.無塵室之建筑主體構造:一般可以用鋼筋或骨水泥,近年來人們發現了的主體構造,那就是工業鋁型材。
所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造的要素。沒有潔凈室,就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中,潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間,具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度,以達到適當的顆粒清潔度。