昆明生物10萬級凈化車間專業規劃設計
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。無塵室、無塵車間若使用吸塵器,對過濾能力,吸塵能力都是有高要求的。加大的HEPA過濾器是基本配置,對顆粒物灰塵物質的過濾芯要求達到99.97%之03.um,吸塵管與接頭這些與設備密切接觸的部件都是防靜電式材質 。
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
在進入或離開潔凈廠房之前戴好防靜電手套或手指套,手指套要戴十只手指,更換時把廢舊手指套扔入指定的收納盒或垃圾桶內,不需要順手亂扔,影響車間整潔衛生.
更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
在單向流潔凈室以及單向流凈化設備中,可以發現沿壁的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染傳輸到上部再送下來,破壞了上述“活塞流”的狀態,危害大。對于和外界有開口相通的部凈化設備,例如潔凈工作臺,這種氣流將引射外界污染氣流,在設計上一定要減小過濾器邊框處所占的無效面積,更要設法使空間的壁面盡量接近過濾器有效迭風截面。通過上面分析,可以認為單向流潔凈室特性(高潔凈度和自凈恢復能力)的重要先決條件有兩個:①來流的潔凈度;②來流的活塞流情況;