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目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
濕度處理———包括一次表冷盤管、二次表冷盤管、蒸汽加濕三部分。預熱盤管的作用是對外氣進行預加熱。在外界氣溫較低，接近零度時，為了避免盤管在氣溫低于零度時被凍壞，需對外氣進行加熱，通常是加熱到12℃?？刂扑惋L溫度時，將送風溫度與其設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定一次表冷盤管與再熱盤管閥門開度的大小，其控制流程如圖4 所示。在整個PID 閉環控制環節中引入分程控制器模型，如圖5 所示，將PID
層流罩一種可提供部高清潔環境的空氣凈化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器，空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產品即可以懸掛，又可地面支撐，結構緊湊，使用方便?？梢詥蝹€使用，也可多個聯接組成帶狀潔凈區域。潔凈區內的配電箱(柜)根據要求不同，可采用明裝或暗裝方式安裝。其暗裝結構形式類似于通風柱井或結構包柱。配電箱的進出線選用低壓電纜，電纜的選擇應符合技術要求。例如30kVA、50kVA變壓器的配電箱的進線使用VV22-35×4電纜，分路出線使用同規格的VLV22-35×4電纜;80kVA、100kVA變壓器的配電箱的進線分別使用VV22-50×4、VV22-70×4電纜，分路出線分別使用VLV22-50×4、VLV22-70×4電纜,其電纜與銅鋁接線鼻壓接后再用螺栓與配電箱內接線樁頭連接。