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無塵車間，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵車間擁有不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
潔凈衣物材料的基本條件是洗滌或其他處理后不會產生灰塵，布料不易燃燒和起毛，其織造方法或布料的組織不易通過污染物，不粘附污染物。此外，摩擦后不會產生靜電或很小的起電，易清洗再生，不易起皺，佩戴舒適感等也可考慮選用。風帽材質為無塵紙或無紡布，帽子材質與干凈衣服相同。磨損和使用時，除了眼睛和面部的表面暴露外，其他部位需要覆蓋。頭部與外套的連接處也覆蓋，頭發不能暴露。無塵車間鞋子應該穿著合腳舒適。