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潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU
濕度處理———包括一次表冷盤管、二次表冷盤管、蒸汽加濕三部分。預熱盤管的作用是對外氣進行預加熱。在外界氣溫較低，接近零度時，為了避免盤管在氣溫低于零度時被凍壞，需對外氣進行加熱，通常是加熱到12℃?？刂扑惋L溫度時，將送風溫度與其設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定一次表冷盤管與再熱盤管閥門開度的大小，其控制流程如圖4 所示。在整個PID 閉環控制環節中引入分程控制器模型，如圖5 所示，將PID
十萬級無塵車間對溫度、濕度沒有特殊要求時，冬季溫度一般控制在冬季20—22℃；夏季溫度一般控制在24—26℃；允許波動的范圍是±2℃。而冬季潔凈室濕度控制在30—50％，夏季無塵車間濕度控制在50—70％。
因此，在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。