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目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外，并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
在精密機械加工和計量等場合，為了因熱膨脹而引起的誤差，使工件保持一定的溫度（temperature)。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0。20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。
房間的潔凈度取決于單位時刻的換氣次數，因而慎密思考房間的作業性質，以及生產工藝請求，再決議凈化體系的技術參數。為了確保氣流簡直不受攪擾，就有必要進行構造計劃，必要的謹慎能夠避免房間里地方的塵埃積。要斷定計劃方案，有必要先對房間的作業性質以及其間的氣流條件進行仔細的思考，發塵量大的車間不宜選用地上送風方法，潔凈度請求高的車間應盡也許遠離其它車間。作為潔爭室頂棚，墻面和地板的資料有必要是不宜破裂、不易沾顆粒，以及簡直不起塵的資料，別的依據房間不一樣的作業條件，還有必要考濾資料的化學功用是不是安穩。