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出口濕度的設定值。根據送風露點溫度并與露點溫度設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定表冷閥和加濕閥開度的大小，其控制流程與溫度控制類似，同時也引入了分程控制，避免臨界狀態下加濕與之間不斷切換而導致的濕度控制的波動。潔凈室溫度控制潔凈室內的溫度PID 控制流程如圖6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于潔凈室本身的大空間而造成的大慣性、大時滯性，在設置PID
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
什么是潔凈車間？潔凈車間又叫無塵車間或者叫凈化車間，潔凈車間可以分為以下六個等級:十萬級無塵車間、萬級無塵車間、千級無塵車間、百級無塵車間、十級無塵車間、一級無塵車間。各種等級的無塵車間的用途:100000級十萬級無塵車間用于很多的工業部門，比如光學產品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的制造，食品飲料的生產，醫、工業也常常使用這一級無塵車間。10000級萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
濕度處理———包括一次表冷盤管、二次表冷盤管、蒸汽加濕三部分。預熱盤管的作用是對外氣進行預加熱。在外界氣溫較低，接近零度時，為了避免盤管在氣溫低于零度時被凍壞，需對外氣進行加熱，通常是加熱到12℃?？刂扑惋L溫度時，將送風溫度與其設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定一次表冷盤管與再熱盤管閥門開度的大小，其控制流程如圖4 所示。在整個PID 閉環控制環節中引入分程控制器模型，如圖5 所示，將PID