新余玻璃無菌室專業生產廠家
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。無塵室、無塵車間若使用吸塵器,對過濾能力,吸塵能力都是有高要求的。加大的HEPA過濾器是基本配置,對顆粒物灰塵物質的過濾芯要求達到99.97%之03.um,吸塵管與接頭這些與設備密切接觸的部件都是防靜電式材質 。
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程,濕空氣經過冷卻盤管結露析出水滴從而降低了對濕度,起到去濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加濕、降溫及降溫去濕等四個過程。圖1中,橫坐標為含濕量,即每千克空氣所含有的水蒸量;縱坐標為攝氏溫度。根據目標狀態,對濕度線和目標溫度線可以劃分為四個控制區: Zone 1,ZoneZone 3,Zone 4。
無塵車間對溫濕度的控制決取于其生產工藝。在滿足加工工藝的條件下,還應該考慮(consider)到人的舒適感。因為人出汗以后,對產品將有污染,是怕鈉(Sodium)的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故,相對濕度在50%時易生銹。下面我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝。