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將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機無法清除之灰塵。無塵室一般分為電子、精密工業用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制、食品產業用BiologicalCleanRoo(BCR)。聯邦規格無塵室等級現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格(U.S.Federalstandard209b)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0.5以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。
出風口的溫度控制在22℃，這樣，經過工作層面后溫度將會再上升，在機臺滿載的情況下上升溫度會基本穩定。溫濕度控制中的常見問題的溫濕度處理過程中，為了解決問題，通常采用濕度優先的方法，冷水閥主要用來，同時也造成溫度的下降，然后通過熱水閥的再熱，使溫濕度均能達到所要求的值。這樣的做法雖然可以滿足設計要求，但在相當多的時候，冷熱水閥使能量相互抵消，造成了能源的浪費。另外，如果進入潔凈室的新風溫度過高，將導致整個潔凈室的熱負荷加大，DCC
溫度與濕度的要求不同的工業產品對車間所需要的溫度和濕度都有所不同，而且也有著嚴格相關的規定。一般的參考值是溫度可以在17-25攝氏度之間，濕度控制在28%到60%之間。而且負責的人員應當對溫度和濕度進行及時的觀測和記錄，記錄的間隔要在3小時之內。如果天氣有很大的變化時，要及時調整記錄，并調整車間內的溫濕度。紫外燈的使用要求在當天下班之后，人員都離開了車間，應該開啟紫外燈殺菌。要持續照射30分鐘左右。而且要根據紫外燈的使用情況，進行及時的更換。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。