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后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
選址原則:無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產、的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。動線規劃要點:要檢討分析人車路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以交叉污染。作業者、化學品、材料等動線勿集中;無塵車間四周，宜設緩沖區;制造裝置的出入，不要對作業產生大影響。
十萬級無塵車間對溫度、濕度沒有特殊要求時，冬季溫度一般控制在冬季20—22℃；夏季溫度一般控制在24—26℃；允許波動的范圍是±2℃。而冬季潔凈室濕度控制在30—50％，夏季無塵車間濕度控制在50—70％。
無塵服嚴禁有亂穿、亂放等現象。具體參照QG-19《潔凈服和無菌工作服管理制度》進行。以上每違反一條，每次從工資中扣10元，違反人員的直屬上司扣管理費用2元。無塵服、口罩須完整無破洞，手袖、褲管鎖口處不能有松脫現象。無塵服穿戴整齊，帶好口罩，頭發不能外露?？谡终谧∽臁⒈?，以防唾液污染潔凈空間。不能佩帶首飾等與生產無關物進入車間， MP3、MP4、收音機等電子產品不允許帶