福建化工仟級無塵車間專業生產廠家
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上， 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃，45±5%RH，當然根據生產工藝的需求，對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示，其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
凈化工程通俗稱為無塵車間、凈化車間、潔凈室等名稱；其主要原理是將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動、照明、靜電控制在所需求范圍內。主要是對潔凈度、溫度、濕度的控制，提升作業環境，提高產品良率。無塵凈化車間包含6個部分，分別是:1.天花板系統，包含主梁和無塵室頂部部門；2.空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等；3.隔墻板:包括窗戶、門；4.地面:比如防靜電地面、以及環氧自流平及滾涂地面；5.照明器具:包括日光燈等；6.無塵室之建筑主體構造:一般可以用鋼筋或骨水泥，近年來人們發現了的主體構造，那就是工業鋁型材。
混合流凈化車間混合流凈化車間的氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到較小，用大面積非單向流替代大面積單向流，以節省初投資和運行費用。凈化車間壓差控制凈化車間壓差控制的目的在于凈化車間在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時，氣流能從空氣潔凈度高的區域流向空氣潔凈度低的區域，使凈化車間的潔凈度不會受到污染空氣的干擾，因此凈化車間須保持一定的壓差。影響凈化車間壓差的波動因素通常包括室外風壓、風速的變化；HVAC系統阻力的變化；風管的泄漏及凈化車間圍護結構氣密性變化等。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。