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潔凈室按其氣流狀態來區分，主要分為亂流（非單向流）潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室（也有稱矢流潔凈室的），這一節主要討論亂流潔凈室。前面已經指出，不論是哪一種潔凈室，都是紊流流態。那為什么不都叫紊流潔凈室呢？亂流潔凈室的名稱是借用于日文，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中國早在《空氣潔凈技術措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學上的紊流這一專有名詞。上慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
進入無塵車間知道的事情。進入無塵車間要穿干凈的鞋子，不能帶油漬、污泥在里面；室內不準吸煙、飲食；焊接、切割、鉆孔等多塵作業。加以控制，以碎片廣泛擴散。每天工作結束時，應將垃圾搬出房間，倒入指定的地方；建筑材料堆放整齊；禁止在室內小便；違反以上規定者，立即取消無塵車間工作資格。無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理，可采用亞過濾器代替過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、過濾器三級過濾器;中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段;或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。