浙江血站10萬級凈化車間專業規劃設計
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。
醫療無塵車間內潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之 一，是控制帶塵的Z好凈化設備之一，它可以Z大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域，達到生產車間所要求的生產潔凈環境。醫療無塵車間內潔凈室Z主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為醫療無塵車間潔凈室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非百分百沒有一點灰塵，而是控制在一個微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是的要求。
混合流凈化車間混合流凈化車間的氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到較小，用大面積非單向流替代大面積單向流，以節省初投資和運行費用。凈化車間壓差控制凈化車間壓差控制的目的在于凈化車間在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時，氣流能從空氣潔凈度高的區域流向空氣潔凈度低的區域，使凈化車間的潔凈度不會受到污染空氣的干擾，因此凈化車間須保持一定的壓差。影響凈化車間壓差的波動因素通常包括室外風壓、風速的變化；HVAC系統阻力的變化；風管的泄漏及凈化車間圍護結構氣密性變化等。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。