西安食品凈化設備專業生產廠家
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
空氣潔凈度等級空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊母叩涂梢杂每諝鉂崈舳鹊燃墎韰^分??諝鉂崈舳燃墑e則以每立方米空氣中的允許微粒數來確定。潔凈室(區)是指空氣懸浮粒子濃度、含菌濃度受控的房間(限定的空間),房間(空間)的建造和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子等,房間(空間)內其它相關參數如溫度、相對濕度和壓力按要求進行控制。
增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….以此類推,配合公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。美國聯邦標準FS?209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class?1,Class?2,Class?3……Class8表示,度的等級為Class?1,差則為Class?8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
亂流潔凈室也叫非單向流潔凈室,非單向流潔凈室的原理是靠潔凈送風氣流擴散、混合、不斷稀釋室內空氣,把室內污染逐漸排出,達到平衡。簡言之,非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。 特點:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。