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空氣潔凈度等級空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊母叩涂梢杂每諝鉂崈舳鹊燃墎韰^分??諝鉂崈舳燃墑e則以每立方米空氣中的允許微粒數來確定。潔凈室(區)是指空氣懸浮粒子濃度、含菌濃度受控的房間(限定的空間),房間(空間)的建造和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子等,房間(空間)內其它相關參數如溫度、相對濕度和壓力按要求進行控制。
1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的jing確要求為亞微米.10級:這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業.100級:很多人認為,這yi級無塵車間是zui常用因而是zui重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級無塵車間稱為無菌室,以說明"無菌"的或"無塵"的環境要求,100級無塵室可用于醫工業的無菌制造工藝等,這一無塵車間大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療.
為便于安裝、檢修及操作,一般管道多用明線敷設,且價格較暗線便宜。管道應成列平行敷設,盡量走直線,少拐彎,少交叉。明線敷設管子盡量沿墻或柱安裝,應避開門、窗、梁和設備,應避免通過電動機、儀表盤、配電盤上方。操作閥高度一般為0.8~1.5m,取樣閥1m左右,壓力表、溫度計1.6m左右,閥為2.2 m,并列管路上的閥門、管件應錯開安裝。管道上應適當配置一些活接頭或法蘭,以便于安裝、檢修。管道成直角拐彎時,可用一端堵塞的三通代替,以便清理或添設支管。沒有潔凈室,就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中,潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間,具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度,以達到適當的顆粒清潔度。