沈陽化工注塑凈化車間專業規劃設計
潔凈室按其氣流狀態來區分,主要分為亂流(非單向流)潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室(也有稱矢流潔凈室的),這一節主要討論亂流潔凈室。前面已經指出,不論是哪一種潔凈室,都是紊流流態。那為什么不都叫紊流潔凈室呢?亂流潔凈室的名稱是借用于日文,但是日文的亂流就是紊流的意思,而中國早在《空氣潔凈技術措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學上的紊流這一專有名詞。上慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。
今天就和大家分享一下具體的檢測內容,希望對大家能有所幫助。檢測項目有風速風量、換氣次數、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。潔凈室、潔凈區的潔凈度主要是靠送入量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。
十萬級無塵車間對溫度、濕度沒有特殊要求時,冬季溫度一般控制在冬季20—22℃;夏季溫度一般控制在24—26℃;允許波動的范圍是±2℃。而冬季潔凈室濕度控制在30—50%,夏季無塵車間濕度控制在50—70%。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。