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后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
今天就和大家分享一下具體的檢測內容，希望對大家能有所幫助。檢測項目有風速風量、換氣次數、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。潔凈室、潔凈區的潔凈度主要是靠送入量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現的。為此，測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。
凈化車間壓差值的選擇應適當，選擇過小，凈化車間壓差易被破壞，潔凈度受到干擾；選擇過大，HVAC系統新風量增大，負荷增加，過濾器壽命縮短。因此，凈化車間壓差值大小應合理確定（對一般凈化車間為正壓，生物學凈化車間為負壓）。凈化車間壓差是由送入新風量的大小來保持的，即:壓差建立的基本原理是送風量大于回風量、排風量、漏風量之和，其中漏風量大小取決于建筑物圍護結構的密封程度，如門縫、窗縫、壁板拼縫、各種管線接口等，這些將影響到漏風量的大小，使室內壓差很難維持或不穩定。無論是風空氣系統，還是循環空氣系統，通過凈化車間的送入風量與排風量和壓差風量（余風量）之間達到平衡便建立了壓差。