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潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
混合流凈化車間混合流凈化車間的氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到較小，用大面積非單向流替代大面積單向流，以節省初投資和運行費用。凈化車間壓差控制凈化車間壓差控制的目的在于凈化車間在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時，氣流能從空氣潔凈度高的區域流向空氣潔凈度低的區域，使凈化車間的潔凈度不會受到污染空氣的干擾，因此凈化車間須保持一定的壓差。影響凈化車間壓差的波動因素通常包括室外風壓、風速的變化；HVAC系統阻力的變化；風管的泄漏及凈化車間圍護結構氣密性變化等。
亂流潔凈室的作用原理是:當一股干凈氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股干凈氣流稀釋著室內污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣沖淡了，直至達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好，因此亂流潔凈室的原理就是稀釋作用。?溫度的需求，風機過濾單元自帶風機，能獨立送風，因而不必接連空調風管一樣能夠工作，因而對溫度需求不是很高的，能夠選用風機過濾單元，也能夠選用送風口。