上?;o菌室專業車間施工團隊
初,確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔凈室,但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著認識的發展,人們又指出這種單向流只是“在有限的領域內空氣沿平行流線以等速流動的意思”,并認為能力抑制渦流的發生。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配的那樣的房間,也稱為單向流潔凈室。這就是說,不要求在整個房間都具有單向平行的流線,均勻的速度,沒有渦流,而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配,例如在整個工作區這一層空間了單向流,這個房間就是單向流潔凈室。前面介紹過的國內外有關標準、措施中關于單向流潔凈室達到的高潔凈度,就是指在工作區內達到的潔凈度。因此,密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送,也被作為實現垂直單向流的手段使用。
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
天花板系統:包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等。隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。照明器具:包括日光燈、黃燈管等。潔凈室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,滿足如下之條件: