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潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU
一般潔凈室效果圖亂流潔凈室原理潔凈室按其氣流狀態來區分，主要分為亂流（非單向流）潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室（也稱矢流潔凈室）。亂流潔凈室的名稱是借用于日文，現在上則慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。所謂亂流潔凈室，一般包括以下各種送風形式:過濾器頂送（有擴散板和無擴散板）；流線型散流器頂進；側送:具有這種送風形式的潔凈室，如以雷諾數（指在流體運動中慣性力對黏滯力比值的無量鋼數Re=UL/ν。其中U為速度特征尺度,L為長度特征尺度，V為運動學黏性系數）判斷，顯然屬于紊流流態，但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個頂棚下送，室內氣流速度達到0.25m/s以上，這種室內的流動狀態也是紊流，但在后面就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態，但是就其凈化室內空氣的原理來說，卻是根本不同的，后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室，則后者也應被包含進去了。
FFU風機過濾單元FFU為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為"風機濾器單元(機組)"，也稱空氣過濾單元。風機從FFU頂部將空氣吸入并經初、過濾器過濾，它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環境提供高質量的潔凈空氣。各凈化工程企業的FFU執行標準略有不同，業內通行的為:過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出，但穩定性差距很大。經過實地檢測，品牌普遍適應"中國環境因素"，質量雖然普遍高于國產公司，但1年后的穩定性測試普遍不理想;而大部分國內低端品牌的工程質量也較差強人意。凈化工程行業開始注重產品質量與穩定性的雙向驗收標準，并逐步以實地檢測數據(之前多依靠行業報告)更真實的體現工程性價比。
亂流潔凈室也叫非單向流潔凈室，非單向流潔凈室的原理是靠潔凈送風氣流擴散、混合、不斷稀釋室內空氣，把室內污染逐漸排出，達到平衡。簡言之，非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。 特點:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。