朝陽電子萬級無塵室專業規劃設計
測量高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測室中心1點。面積在15平方米以上,還應再測對角4點,距側墻各1米,測點朝向各角。測點平面離地面0.8米左右,按2米間距布點,30平方米以內的房間測點距邊墻0.5米,超過30平方米的房間測點距離墻面1米。無塵車間的潔凈工作臺的構造要求:臺面,采用木質塑料貼面貼于層壓板上做成臺面,或采用不銹鋼做臺面;箱體,用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形,可采用冷軋薄板折邊搭接,大電流電焊,內表面需粘貼消聲材料,(zui)大尺寸應以通過一般房門為宜;箱體密封,縫隙均采用密封膠密封;操作區截面應盡可能與空氣過濾器送風截面相同,盡量減少盲區;風機、電機,選用高壓低噪的小型風機,風機與箱體的連接采用軟連接,電機及風機均應采取減振措施;燈罩,日光燈要盡量設置在燈罩內,燈罩內要通過潔凈氣流;預過濾器,須設置預過濾器,容量要大,在使用風量下,初阻力宜小于50Pa;過濾器,盡量采用大面積的過濾器,減少空氣過濾器的數量,過濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環密封系統。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。沒有潔凈室,就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中,潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間,具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度,以達到適當的顆粒清潔度。