四川玻璃注塑凈化車間專業規劃設計
所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造的要素。
凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
潔凈車間(潔凈室)是一個企業的核心,是空氣達到一定級別的可供人活動或生產工作的空間,其功能室控制微粒子和微生物的污染。潔凈室的潔凈不是一般的干凈,而是達到了一定空氣潔凈度級別。潔凈車間(潔凈室)按照用途分類分為工業潔凈室和生物潔凈室,按氣流形式分類分為單項流潔凈室、非單項流潔凈室、混合流潔凈室、輻(矢)流潔凈室等。
空氣潔凈度等級空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊母叩涂梢杂每諝鉂崈舳鹊燃墎韰^分??諝鉂崈舳燃墑e則以每立方米空氣中的允許微粒數來確定。潔凈室(區)是指空氣懸浮粒子濃度、含菌濃度受控的房間(限定的空間),房間(空間)的建造和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子等,房間(空間)內其它相關參數如溫度、相對濕度和壓力按要求進行控制。