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建好一個無塵車間,首先要根據實際的生產流程設定相應的功能間,同時考慮人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步確定的基礎上,再確定潔凈區與非潔凈區,潔凈區的潔凈等級.然后確定相應的換氣次數或是截面風速.然后布置送回風口,設計潔凈送風機組(大小,位置,風機空調選型等),設計送回新風管道等.當然強弱電給排水也要設計.然后就是按圖施工潔凈室的構成及注意事項潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室:
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造的要素。
隨著科技的與日發展,生產制造業其對空氣潔凈度的要求主要是從產品加工的精密化、產品的微型化、產品的高純度、產品的性四個方面提出來的。產品加工的日漸精密化?,F代產品的加工精度已經進入到了亞微米量級,而且正在向著更小的量級發展。產品的日漸微型化。原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,現在縮減到了零點幾立方厘米。產品的日漸高純度。今天的各種超純材料,都在高純度基礎上才能使原材料充分發揮其固有特性,或者呈現出新的特性。