廣東醫院無塵車間專業規劃設計
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同,導致潔凈室內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3-5倍之間),因此在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC,在建筑已經確定的情況下,制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許,好是將不同制程的區域隔開,這樣既可避免金屬粒子污染,又能提高溫濕度控制的穩定性。通常情況下, 潔凈室的溫濕度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送風溫度基本控制在21℃-21.5℃,在與循環風混合后,FFU
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外,并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
不會因溫度變化與振動而發生裂痕;不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;為了維持室內之濕度條件,熱緣性要高;潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是的要求。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。隨著我國電子工業飛速發展以及產品供過于求,各項產品競爭日趨激烈,打贏這場競爭關鍵是產品質量和價格:潔凈度是電子產品生產前提條件,而低成本則是產品價格基礎。下面介紹一下我們在此方面一些管理經驗,以供大家參考。? ? ? 潔凈度管理 ? ? ? ? 我們生產車間要求空調潔凈度為3000(英制,下同)及5000級,安裝廠家調試時均按實際設汁數據確定,如:過濾器出口為lm/s左右風速;回風口為2m/s左右風速,起初投產及中批量生產時,潔凈度能達到要求。調試廠家撤離后,隨著產量增加,潔凈度逐漸達不到要求,加之設備改造升級,實際產量超過設計產量時潔凈度問題更加突出,部分工位潔凈度甚降到100萬級;且該區域周圍大面積潔凈度超標,公司由于擔心出現產品質量問題一度停產,外方專家對超標原因進行各種推測,沒有找到原因。