河北電子無塵車間專業車間施工團隊
所謂亂流潔凈室,一般包括以下各種送風形式:過濾器頂送(有擴散板和無擴散板流線型散流器頂進具有這些送風形式的潔凈室,如以雷諾數判斷,顯然屬于紊流流態,但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個頂棚下送,室內速度達到0.25m/s 以上,這種室內的流動狀態也是紊流,但在后面就會搞清楚,雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態,但是就其凈化室內空氣的原理來說,卻是根本不同的,后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室,則后者也應被包含進去了。
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、細菌等其他污染物排除室外,并將室內無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電的控制在某一需求范圍內。
所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造的要素。
不會因溫度變化與振動而發生裂痕;不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;為了維持室內之濕度條件,熱緣性要高;潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是的要求。