北京玻璃30萬級無塵室專業車間施工團隊
潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是的要求。
這個系統中,工藝管道主要包括凈化水系統和物料系統,這個系統的水平管線大都是布置在技術夾層內。一些需要經常清洗滅菌的管道應采用可拆式活接頭,并宜明敷。公用工程管線氣體管道中除煤氣管道明裝外,一般上水、下水、動力、空氣、照明、通信、自控、氣體等管道均可將水平管道布置在技術夾層中。工業潔凈車間內的電氣線路一般宜采用電源橋架敷線方式,這樣有利于檢修,有利于工業潔凈車間布置的調整。暗敷管道的常見方式有技術夾層和管道豎井以及技術走廊。
十萬級無塵車間對溫度、濕度沒有特殊要求時,冬季溫度一般控制在冬季20—22℃;夏季溫度一般控制在24—26℃;允許波動的范圍是±2℃。而冬季潔凈室濕度控制在30—50%,夏季無塵車間濕度控制在50—70%。
控制算法得出的計算值分為兩部分,0-48%及52(%)-100%,它們分別對應一次表冷盤管及再熱盤管,這樣就避免了冷熱水盤管同時打開而導致能源浪費。同時,在冷熱水切換的交界處48%-52%,設置了死區,即當外氣的溫度與送風溫度設定值相當接近時,熱水閥和冷水閥都處于關閉(閥開度都為0)的狀態,以避免冷熱水在臨界狀態時不停地切換,加速了執行機構的損壞,同時又能減少能源的消耗。為了避免和溫度之間的耦合關系,新風出口濕度的設定值通常不采用相對濕度作為控制值,而是通過和溫度設定值綜合計算后得出其對濕度,以露點溫度或含濕量來表示。本文以露點溫度為例。將計算所得的露點溫度設定值作為整個MAU