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開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
機械性過濾—HEPA網HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思為空氣過濾器，達到HEPA標準的過濾網，對于0.3微米的達到99.998%，HEPA網的特點是空氣可以通過，但細小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網由一疊連續前后折疊的亞玻璃纖維膜構成，形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質。靜電式凈化方式工作原理:采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰線在高壓靜電的作用下，產生電暈放電，電暈層中產生大量的負離子，負離子在靜電場的作用下，不斷地向陽運動。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽(集塵)運動，到達陽后釋放電荷。 缺點:可去除飄塵(不能去除毒害氣體)，效能比機械式低、慢，而且易產生臭氧，此機型被美國市場評為差凈化器。
有些空氣凈化系統的空氣，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精制的原料精制、干燥工序;放射性品生產區;病原體操作區;工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序;固體口服制劑的顆料 原則:無塵車間里存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種"小處節約大處浪費"的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。