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出口新風濕度進行調節，將潔凈室相對濕度測量值與相對濕度設定值進行比較，由此計算出所需要MAU出口新風相對濕度，其計算過程與溫度設定值的計算過程類似，然后配合MAU 出口新風溫度設定值，計算出MAU 的出口露點溫度設定值， 由此來控制MAU 出口的濕度。實際應用中，通過在潔凈室溫濕度控制系統中引入模糊控制環節和分程控制環節，發揮模糊控制魯棒性強、動態響應好、上升時間快、超調小的特點,
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機無法清除之灰塵。無塵室一般分為電子、精密工業用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制、食品產業用BiologicalCleanRoo(BCR)。聯邦規格無塵室等級現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格(U.S.Federalstandard209b)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0.5以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。
無塵凈化板車間的優勢，防塵，防靜電，抗菌等效果?；有一定的耐腐蝕性，潔凈室通常都需頻繁擦拭，除了用水擦拭還會用消毒水、酒精等消毒，這些液體通常都有一定的化學品性，會使一些材料表面變色、脫落、恒遠使用寶鋼、冠洲等優質耐腐蝕原材料，板材使用更持久；還具有很好的抗氧化性，不產生銹蝕，整體來說凈化板有平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚靜電、避免眩光、并有舒適感等優點。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。