湖南血站萬級無塵室專業生產廠家
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
非單向流凈化車間非單向流的凈化原理是靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,把室內污染逐漸排出,達到平衡,即稀釋原理。具體來講,就是利用干凈氣流的混合稀釋作用,把室內含塵濃度很高的空氣稀釋,使室內污染源所產生的污染物質均勻擴散并及時排出室外,降低室內空氣的含塵濃度,使室內的潔凈度達到要求。非單向流凈化車間的氣流流型又可分為頂送下回、頂送下側回、頂送頂回等。一般形式為過濾器送風口頂部送風;回風的形式有下部回風、側下部回風和頂部回風等。依不同送風換氣次數,實現不同的凈化級別,其初投資和運行費用也不同。非單向流凈化車間的特性包括:換氣次數,與舒適性空調相同;氣流組織,即能均勻地送風和回風,充分發揮潔凈氣流的稀釋作用,要求單個風口有的擴散作用,整個凈化車間室內風口布置均勻,數量盡可能多,要盡量減少渦流和氣流回旋;自凈時間,室內從某污染狀態降低到某潔凈狀態所需要的時間,自凈時間越短越好。非單向流凈化車間自凈時間一般不超過30min。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別??諔B:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。