貴州化工30萬級無塵室專業生產廠家
出口濕度的設定值。根據送風露點溫度并與露點溫度設定值進行比較,通過PID控制算法,得出一個計算值,根據該計算值來確定表冷閥和加濕閥開度的大小,其控制流程與溫度控制類似,同時也引入了分程控制,避免臨界狀態下加濕與之間不斷切換而導致的濕度控制的波動。潔凈室溫度控制潔凈室內的溫度PID 控制流程如圖6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于潔凈室本身的大空間而造成的大慣性、大時滯性,在設置PID
無塵車間凈化工程最主要的作用在于控制產品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來規定。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別??諔B:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度,控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子,且指一般空氣清凈機無法清除之灰塵。無塵室一般分為電子、精密工業用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制、食品產業用BiologicalCleanRoo(BCR)。聯邦規格無塵室等級現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格(U.S.Federalstandard209b),BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0.5以下時,表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。